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作為清洗用途的超聲波頻率一般在20KHZ～170KHZ之間，常用的工作頻率為  25KHz 、28KHZ、33KHZ、40KHZ、80KHZ、100KHZ、120KHZ、132KHz等。理論上頻率越高清洗密度越大，清洗潔凈度越高，但相對力度越小，多用于精密清洗。而頻率越低則反之。所以40KHz以下的工作頻率一般用于普通工業零件或污垢較多的情況下的清洗，如五金機械零件除油除臘等工作。而40KHz以上的工作頻率大多用于精密零件的精密清洗，如光學/光電子玻璃器件及半導體材料 /器件等零件的精密清洗。

例如，在28kHz的頻率下，這種空化現象每秒發生約28,000次，液體中發生無數的空化現象，它成為一種沖擊波，用物理沖擊力剝離粘附在被清洗物體上的污垢，可以有力地清洗。空化的沖擊力因頻率而異，頻率越高，振幅越小，物理沖擊力越弱。 另一方面，振幅越小，氣蝕次數越多，對細小污垢有效，減少對待清潔物體的損壞。 由于污垢頑固，如油污和積碳，并且工件堅硬且不擔心損壞因此低頻率的25 kHz似乎是好的，如果有必要考慮損壞的可能性40 kHz似乎更好。

超聲波清洗機(ultrasonic cleaning);被清洗零件浸沒在清洗液中，向液體中輻射超聲波并產生空化。由空化氣泡運動產生的微沖流或由氣泡崩塌產生的高強度沖擊波,作用于附著在零件表面上及零件表面微孔、細縫中的污物,促使其脫落或加速溶解，從而達到清洗的目的。這種方法叫超聲波清洗。金屬零件超聲波清洗機就是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對金屬零件直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。所用的超聲波清洗機中，空化作用和直進流作用應用得更多。